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风淋通道在电子生产车间的应用
风淋通道其实就是风淋室的加长版,两种设备叫法不同,东西却是一样,说起来他们也没有什么区别,能使用得上风淋室的地方,也一样能使用得上风淋通道,微电子行业就是其中应用风淋室最为广泛的一个行业。
一、微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子技术是高科技和信息产业的核心技术。微电子产业是基础性产业,之所以发展得如此之快,除了技术本身对国民经济的巨大贡献之外,还与它极强的渗透性有关。另外,现代战争将是以集成电路为关键技术、以电子战和信息战为特点的高技术战争。微电子微电子技术是随着集成电路,尤其是超大型规模集成电路而发展起来的一门新的技术。微电子技术包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,微电子技术是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子技术是在电子电路和系统的超小型化和微型化过程中逐渐形成和发展起来。
二、国际微电子发展的趋势是:集成电路的特征尺寸将继续缩小,集成电路(IC)将发展为微电子系统芯片(SOC)。微电子技术和其他学科相结合将产生很多新的学科生长点,与其它产业结合成为重大经济增长点。1999年中国集成电路的总消耗量折合人民币为436亿元,其中国产芯片的总量为83.8亿元人民币,占世界芯片产量的0.6%。虽然中国微电子产业的发展有了很大进步,但与发达国家相比还很落后,生产技术总体上还有2代左右的差距。国内集成电路需求的自给率很低,特别是技术含量高的产品,基本上依靠进口。随着集成电路技术的发展,使整机、电路与元件、器件之间的明确界限被突跛,器件问题、电路问题和整机系统问题已经结合在一起,体现在一小块硅片上,这就形成了固体物理、器件工艺与电子学三者交叉的新技术学科一微电子学。随着集成电路技术的广泛渗透和延拓,它将是一个更为广泛的边缘性学科。
三、进入微电子生产车间须经风淋室缓冲通道。“微电子生产车间洁净度要求高,实验室不能有一点灰尘。进入微电子生产车间,每个人必须换上工人工作时穿的衣服、帽子、鞋子与口罩。我们被包裹得严严实实,只有一双眼睛露在外面。要经过了一道“风淋室”去尘,每个人被风淋室吹出洁净风浑身“沐浴”一遍。风淋室是员工进入洁净室与非洁净室必备的净化设备之一,它可以最大限度地减少员工进出洁净室所带来的污染问题,对待进入微电子生产车间管理中起到一定的作用。
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